华海清科离子注入装备批量交付国内多家集成电路制造头部企业

来源：华海清科 2025-10-21 10:29:53

近日，华海清科官微宣布，华海清科全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机批量交付国内多家集成电路制造头部企业。

据介绍，华海清科离子注入装备表现卓越，其最新一代大束流离子注入机在置换率等方面已与国际领先竞争对手达到同一水平，具备高稳定性与高工艺匹配度，能够满足先进制程对离子注入均匀性、精准度的严苛要求。目前，该系列装备已在多家客户端顺利通过验证，凭借出色的综合性能赢得了客户的高度肯定，重复订单的获取正是其产品实力与市场信心的有力证明。

华海清科形成了覆盖逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS（图像传感器）及硅片制造等多领域工艺需求的全面产品矩阵。此次批量交付国内多家集成电路制造头部企业，是华海清科离子注入装备发展的重要里程碑。

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